・　溶接ベローズ

半導体及びFPD製造装置用溶接ベローズ新規制作と修理

各種ベローズバルブ修理と標準オーバーホール

各種ヒーター修理と標準オーバーホール

・　アルミ＋アルマイトコート加工部品

半導体製造装置150mm/200mm/300mm用シャワーヘッド

チャンバー類（DPS/TCP/CVD）

FPD製造装置DRY上部電極（4G～8G）

FPD製造装置CVDサセプター修理と新規制作（4G～8G）

FPD製造装置CVDディフューザー修理と新規制作（4G～8G）

・　半導体製造装置150mm/200mm/300mm用部品洗浄と再生

　　隔離されたCuライン

メタル、セラミック、シリコン、石英部品の洗浄とコート（ANODIZING+Y2O3）

・　セラミック部品

 
　　アルミ、窒化珪素、炭化珪素等

各グレード選択可能　AD995 / AD998 / Plasma Pure-UC™ Alumina

・　樹脂部品

PPS / PPI / PEEK / VESPEL等

リフトピン、ガイドブロック、インシュレーター（テフロンシール）等

CMP Retainer Ring類